人们早采用射频探针技术与今天的工具是很不相同的，早期探针使用了由一个很短的线极尖（wire TIp）而逐渐收敛的50-Ω微带线，通过探针基片上一个小孔而与被测器件（DUT）的压点（pad）相接触。此时，其技术难度在于如何突破4GHz时实现可重复测量。虽然有可能通过校准过程来剔除一个接触线极尖相对较大的串联电感的影响，但当圆晶片的夹具被移动时，线极尖的辐射阻抗会有较大的变化。高频测量使用的极尖设计与用于直流和低频测量的极尖不同，而且必须使50-Ω环境尽可能地接近于DUT压点。
村田无浮动机构的自动探针可用于产线大批量测试。探针内置在测量装置内，与连接器加压连接，探针不带夹爪锁固功能，因此不会使连接器受损，探针不带浮动机构，因此测量装置应具备浮动机构。
常用型号有MM126036  MM126038  MM126048,MM126310等。

奥纳科技销售射频探针，主要是日本muRata村田探针。
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村田无电缆探针主要用于实验室评估，测量电缆能够与村田探针相连，配合完成后，探针可凭借与连接器接触点上的夹爪自行站立，配合完成后对探针施加的任何压力都可能导致探针脱落，连接受损或电级剥离。需要细心使用测试。这类探针一般采用SMA接口进行转接。

村田自动探针（无张力型）可用于产线大批量测试，其与带浮动机构的自动探针功能相同，该探针具有结构，因此不受电缆张力影响，该探针使转换电缆更易操作。
为了探测电路性能，我们需要把信号传导到某类传输线上， 这意味着我们需要至少两个导体，即“信号导体”和“地导体”。除了以上基本的GSG, GS, SG类型的探针，还有各种组合，如GSGSG，GSSG，SGS等等。探针本身需要很好的匹配内部不同传输媒介的特征阻抗，要求保证在不同传输模式下电磁能量的传输。